AURION ANLAGENTECHNIK GMBH

AURION Anlagentechnik GmbH - Τεχνολογία πλάσματος = συστήματα πλάσματος + στοιχεία HF. Η AURION Anlagentechnik GmbH ιδρύθηκε στα τέλη του 1996 από τρεις επιχειρηματίες. Η ιδέα που προηγήθηκε της ίδρυσης της εταιρείας, αφορούσε στην παραγωγή στοιχείων και ολοκληρωμένων συστημάτων για την επεξεργασία επιφανειών που να είναι αποδοτικά, να περιορίζουν το κόστος και να είναι συμβατά με το περιβάλλον. Η AURION αναπτύσσει και παράγει στοιχεία για την τροφοδοσία ισχύος συστημάτων πλάσματος. Σε αυτά περιλαμβάνονται δίκτυα προσαρμογής σύνθετης αντίστασης με μονάδα αυτόματου συντονισμού, καθώς και φίλτρα, διακόπτες, ρυθμιστές φάσης, διαχωριστές ισχύος, αγωγοί και βύσματα σύνδεσης. Επικεντρωνόμαστε στον τομέα των διεργασιών πλάσματος υψηλής συχνότητας στα 13, 56 ή στα 27, 12 MHz. Στηριζόμενη στην τεχνογνωσία από τον τομέα της κατασκευής στοιχείων, η AURION διαθέτει επίσης ολοκληρωμένα συστήματα για τη βασιζόμενη στο πλάσμα επεξεργασία επιφανειών, δηλ., τόσο τον καθαρισμό και την τροποποίηση επιφανειών όσο και για διαδικασίες επίστρωσης και χημικής χάραξης (PVD, PECVD, RIE, μικροκύματα).